中商情報(bào)網(wǎng)訊：半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)在工業(yè)中發(fā)揮重要作用，它們?yōu)樾酒圃焯峁┖诵脑O(shè)備，決定芯片的制程水平與性能，進(jìn)而推動(dòng)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展，還廣泛應(yīng)用于自動(dòng)化生產(chǎn)、能源、汽車(chē)等多領(lǐng)域。
一、中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)上市公司整體情況
中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈上游為零部件及系統(tǒng)供應(yīng)環(huán)節(jié)，零部件包括軸承、傳感器、石英、邊緣環(huán)、射頻發(fā)生器、機(jī)械臂等，核心子系統(tǒng)包括氣液流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電源及氣體反應(yīng)、熱管理系統(tǒng)、集成系統(tǒng)等；中游為各類(lèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造環(huán)節(jié)，主要包括光刻機(jī)、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、真空鍍膜設(shè)備、清洗設(shè)備、離子注入設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備、CMP設(shè)備、熱處理設(shè)備等；下游應(yīng)用于半導(dǎo)體制造。
資料來(lái)源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
代表性企業(yè)有北方華創(chuàng)、盛美上海、中微公司等。
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